Hot N２（AK570IIIS）
Ｈｏｔ Ｎ２装置是为了防止粉状物以及异物附着在配管等上边而设计成的装置。将被供给的氮气，通过卤素灯加热到所定的温度后放出被加热了的氮气。通过采用半导体或者液晶制造装置的真空泵排气侧配管，可以防止在小室后段发生的反应副生成物附着在配管内等。
| 电源 | 1φ1W / 200V |
| 接口 | 输入气体 3/8 |
| 放出气体 3/8 | |
| 测量用的N2 1/4 | |
| 箱形容器涂饰 | 密胺树脂涂料半艳彩烧 |
| 尺寸 (㎜)(W×D×H) | 420×480×520 |
| 重量 (kg) | 45 |
Ｈｏｔ Ｎ２装置是为了防止粉状物以及异物附着在配管等上边而设计成的装置。将被供给的氮气，通过卤素灯加热到所定的温度后放出被加热了的氮气。通过采用半导体或者液晶制造装置的真空泵排气侧配管，可以防止在小室后段发生的反应副生成物附着在配管内等。
| 电源 | 1φ1W / 200V |
| 接口 | 输入气体 3/8 |
| 放出气体 3/8 | |
| 测量用的N2 1/4 | |
| 箱形容器涂饰 | 密胺树脂涂料半艳彩烧 |
| 尺寸 (㎜)(W×D×H) | 420×480×520 |
| 重量 (kg) | 45 |