シリンダーキャビネット(PURESAFE)FUJITECの配管施工・ガス供給技術を活かした装置です。特殊材料ガスや毒性ガス、高圧ガスなど危険性のあるボンベを収納し、バルブや流量計などを装着して安全にガスを供給するための設備です。
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シリンダーマニホールド(集合装置)は、 10L、47Lのガスボンベから、レギュレーター・バルブ等をとりつけ、安全にガスを供給するための設備です。 各種仕様にも対応可能ですので、導入をご検討の際には一度ご連絡ください。
特殊材料ガスの供給設備(シリンダーキャビネット、シリンダーマニホールド等)から、複数の装置への供給を、安全・円滑に行うための分岐システムがバルブマニホールドボックスです。 省スペース・短納期・低コストでの導入をお考えの際は一度お問い合わせ下さい。
FUJITEC CHILLERは、使用温度に制御された熱媒液を恒温槽よりポンプで加熱/冷却体に送り、熱交換された後、恒温槽に戻す閉回路の循環装置です。各種製造装置やシリンダーキャビネットにも応用が可能です。
使い易い機能を最優先させ、東北大学 金属材料研究所 松岡隆志教授 監修のもと設計されたドラフトチャンバーです。 特に作業性を重視し、開口面・作業台に特殊仕様を施し、作業者に安全かつ簡単に扱える機能となっております。またオプションで、 超純水仕様 、水スクラバーの追加も可能です。
自動切替、自動パージ方式を採用し、安定した薬液の連続供給が可能です。バルブ開閉や確認作業を自動化することによって、人為的操作ミスを防ぐ機構になっております。タッチパネルにより操作を行い、検知警報機のモニター・アラーム機能も取り込んでいます。
薬液供給ユニットから送られてくる薬液を一度タンクに取込み、バブリングすることによってガス供給するための装置です。供給量を確保するため、タンクの製作も行っております。
Hot N2装置は、配管等に紛体や異物の付着防止のために設計された装置です。供給された窒素ガスを、ハロゲンランプにより所定の温度に加熱し、温められた窒素ガスを送り出します。半導体または液晶製造装置の真空ポンプ排気側配管に導入することにより、チャンバー後段で発生した反応副生成物が配管内に付着するのを防止する等の用途に御使用頂けます。
フジテック・インターナショナルでは真空技術、配管加工技術、工作機械の製造技術を用い、 液晶・半導体製造装置の設計、製造、開発を行っております。 その技術を活かし、企画・設計、試作、商品化までをお手伝いします。 発注者の意図を正確に反映した機械・装置の開発・製造を、正確な機械技術と柔軟な設計思想のもとに 一貫製作させて頂きます。
基本に忠実・納期厳守をモットーとし、あらゆるノウハウを蓄積した当社を ”モノ作りのパートナー企業”としてご活用ください。
国内・海外問わず自社製品であるシリンダーキャビネット・バルブボックスを 始め、各種生産装置等の反応室・供給系・排気系に至るまで、メンテナンスを 定期的に受託しております。 メンテナンス内容はお客様のご希望に合わせ、現地分解作業、引き取り、 組み立ても、改造等も行っております。
弊社は単なる洗浄・組み立て作業ではなく、再現性・安定性にこだわったメンテナンスを行いコスト削減、製品の品質、歩留まり、稼働率に大きな貢献をしております。
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